【万能求助】NUS哪个实验室可以做氮化硅(Si3N4)的干法刻蚀?
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作者：偶不是马甲啊 (等级：2 - 初出茅庐，发帖：10) 发表：2013-06-30 09:04:58　 楼主　 关注此帖
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【万能求助】NUS哪个实验室可以做氮化硅(Si3N4)的干法刻蚀?

RT, 比如RIE(eative ion etching) 等对氮化硅(Si3N4)的刻蚀? 多谢!!!

我是马丁
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