【万能求助】NUS哪个实验室可以做氮化硅(Si3N4)的干法刻蚀?
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发贴时间：2013-06-30 09:04
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偶不是马甲啊
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RT, 比如RIE(eative ion etching) 等对氮化硅(Si3N4)的刻蚀? 多谢!!!
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我是马丁
